中圖儀器VT6000研究級(jí)共焦顯微鏡系統(tǒng)是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級(jí)測量的檢測儀器?？蓽y各類包括從光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度,、微觀幾何輪廓,、曲率等。

產(chǎn)品功能

(1)設(shè)備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能,；

(2)設(shè)備具備自動(dòng)拼接功能,，能夠快速實(shí)現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量,；

(3)設(shè)備具備一體化操作的測量與分析軟件,，預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測量，軟件自動(dòng)統(tǒng)計(jì)測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能,，即可快速實(shí)現(xiàn)批量測量功能,；

(4)設(shè)備具備調(diào)整位置、糾正,、濾波,、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

(5)設(shè)備具備粗糙度分析,、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析,、功能分析等五大分析功能,；

(6)設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，可實(shí)現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能,；

工作原理

由LED光源發(fā)出的光束經(jīng)過一個(gè)多孔盤和物鏡后,，聚焦到樣品表面。之后光束經(jīng)樣品表面反射回測量系統(tǒng),。再次通過MPD上的針孔時(shí),，反射光將只保留聚焦的光點(diǎn)。最后,，光束經(jīng)分光片反射后在相機(jī)上成像,。

VT6000研究級(jí)共焦顯微鏡系統(tǒng)顯微成像主要采用3D捕獲的成像技術(shù)，使其具有較高的三維圖像分辨率,，能夠清晰地展示微小物體的圖像形態(tài)細(xì)節(jié),，顯示出精細(xì)的細(xì)節(jié)圖像。它具有直觀測量的特點(diǎn),，可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測,，對(duì)大坡度的產(chǎn)品有更好的成像效果，在滿足精度的情況下使用場景更具有兼容性,。

應(yīng)用領(lǐng)域

對(duì)各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的面形輪廓,、表面缺陷、磨損情況,、腐蝕情況,、平面度、粗糙度,、波紋度,、孔隙間隙、臺(tái)階高度,、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

應(yīng)用范例：

產(chǎn)品特點(diǎn)

自設(shè)計(jì)之初,，便定下了“簡單好用"四字方針的目標(biāo),。

（1）結(jié)構(gòu)簡單：儀器整體由一臺(tái)輕量化的設(shè)備主機(jī)和電腦構(gòu)成，控制單元集成在設(shè)備主機(jī)之內(nèi),，亦可采用筆記本電腦驅(qū)動(dòng),，真正實(shí)現(xiàn)了“拎著走"的便攜式設(shè)計(jì)；

（2）真彩圖像：配備了真彩相機(jī)并提供還原的3D真彩圖像,，對(duì)細(xì)節(jié)的展現(xiàn)纖毫畢現(xiàn),；

（3）操作便捷：采用全電動(dòng)化設(shè)計(jì)，并可無縫銜接位移軸與掃描軸的切換,，圖像視窗和分析視窗同界面的設(shè)計(jì)風(fēng)格,，實(shí)現(xiàn)了所見即所得的快速檢測效果；

（4）安全無憂：采用自研的電動(dòng)鼻輪塔臺(tái),，并對(duì)軟件防撞設(shè)置與硬件傳感器防撞設(shè)置功能進(jìn)行了優(yōu)化,，確保共聚焦顯微鏡在使用高倍物鏡僅不到1mm的工作距離時(shí)也能應(yīng)對(duì)。

部分技術(shù)指標(biāo)